【普樂斯】蘇州 等離子去膠機 ASR-36LN01
品牌：普樂斯
名稱：蘇州 等離子去膠機
型號：ASR-36LN01
功率： 整機峰值功率13KW
用途：用于去除基片表面刻蝕工藝過程中作為刻蝕材料保護膜的光刻膠掩膜,也可用于基片表面其它有機物的等離子體清洗。
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產品特點
v數字及圖標多重工藝參數實時顯示
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數據導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
v三色燈異常報警功能
v自動/手動操作模式切換
v可存儲多套工藝配方
v遠程操控，數據導出（可選）
v模塊多樣化選擇，多層托架可選，處理量大
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產品參數
| 型號 | ASR-36LN01 | |
| 控制系統 | 控制方式 | 全自動控制（自動/手動切換） |
| PLC（標配）/PC（可選） | ||
| 操作系統 | Windows 10 | |
| 觸摸屏 | 7寸 | |
| 整機規格 | 尺寸 | W950×D1050×H1700mm |
| 腔體 | 尺寸 | Φ360×D360mm |
| 材質 | 鋁合金（標配）/不銹鋼（可選） | |
| 電極 | 尺寸 | W250×D310×H140mm |
| 層數 | 2層 | |
| 托架 | 材質 | 鋁合金（標配）/石英（可選） |
| 套數 | 1套 | |
| 真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 |
| 流量計 | MFC質量流量控制器 | 3個；Ar、N2、O2、CF4（可選） |
| 真空泵 | 干式泵 | 1套 |
| 發生器 | 射頻 | 13.56MHz，0~1000W |
| 額定功率 | 整機峰值功率 | 13KW |
| 機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V |
| 選購品 | 防腐流量計、防腐真空計、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、溫度傳感器、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、非標法蘭、陶瓷緊固件 | |
注：以上參數僅供參考，本公司可能對相關產品參數進行調整，如有變動，恕不再另行通知。若有不明處，歡迎來電詢問。
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工作原理
在真空狀態下，壓力越來越小，分子間間距越來越大，分子間力越來越小，等離子清洗設備利用高頻源產生的高壓交變電場將氧、氬、氫、四氟化碳等工藝氣體震蕩成具有高反應活性或高能量的等離子體，然后與有機污染物及微顆粒污染物反應或碰撞形成揮發性物質，然后由工作氣體流及真空泵將這些揮發性物質清除出去，從而達到表面清潔、活化等目的。如圖所示：
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應用領域
1. 有機及無機殘留物的去除2. 去除殘膠以及等離子刻蝕的應用
3. 清洗微電子元件、電路板上的鉆孔或銅線框架
4. 提高黏附性，消除鍵合問題
5. 塑料的表面改性：O2處理以改進涂覆性能
6. 產生親水或疏水表面等
快速反應，專業配合，精心打造服務生態鏈
1年質保，終身維護，提供配套服務
承諾到達現場的時限：昆山4小時，蘇州8小時，江浙滬24小時，其他區域48小時
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榮譽資質
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